Waiting
로그인 처리 중...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Journal / Chemistry / Ricostruzione del profilo di profondità 3D di…
JoVE Journal
Chemistry

이 콘텐츠 오픈 액세스로 구독없이 시청하실 수 있습니다.

JoVE Journal Chemistry
Ricostruzione del profilo di profondità 3D di impurità segregate utilizzando la spettrometria di massa a ioni secondari
 
Click here for the English version

Ricostruzione del profilo di profondità 3D di impurità segregate utilizzando la spettrometria di massa a ioni secondari

Article DOI: 10.3791/61065-v • 07:10 min • April 29th, 2020
April 29th, 2020 •
1, 1, 1, 1, 1
1Łukasiewicz Research Network-Institute of Electronic Materials Technology

챕터

요약
Automatic Translation

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Il metodo presentato descrive come identificare e risolvere artefatti di misura relativi alla spettrometria di massa di ioni secondari e ottenere distribuzioni 3D realistiche di impurità/droganti nei materiali allo stato solido.

Tags

Ricostruzione del profilo di profondità 3D impurità segregate spettrometria di massa a ioni secondari SIMS limiti di rilevamento risoluzione spaziale distribuzioni 3D realistiche artefatti di misurazione correzione a campo piatto contributo dello sfondo del vuoto intervallo di tempo stabile sorgente ionica primaria incisione chimica umida posizione di dislocazione microscopia elettronica a scansione (SEM) impurità agglomerate posizione dei difetti fase di preparazione del campione
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter