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此处介绍了一种使用集成电路微加工技术从 SiO2/Si 晶圆中实现气体环膜 (GEM) 的逐步方案。当二氧化硅-GEM浸入水中时,尽管二氧化硅的成分是爱水的,但水的侵入是可以避免的。